1ピコメートルの高さ分解能によってきわめて平滑な3次元表面のマイクロスクラッチも捉えることができる光干渉顕微鏡システム。特徴は、①二光束干渉対物レンズを用いることで干渉縞を観察することができる、②高さ計測では、二光束干渉対物レンズを対象物表面に対し垂直に走査させることで変化する干渉強度を撮像素子の1画素ごとに数値化、③独自のアルゴリズムFVWLI法により、干渉強度の最大となる高さ位置を1画素ごとに特定、④膜厚測定については、FVWLI法、さらにそれでは測定できないものもスペクトル干渉法によって捉えることができる、など。