φ1〜200mmの内周面の加工精度を光干渉法により測定する光干渉式内周面精密測定機。特徴は、①独自の「φ0.9mm極細光学系」の採用により、φ1mmの細穴でも内周面の内径／真円度／円筒度／内表面粗さ（長さ方向測定および周方向測定が可能）／内表面ポーラス率、内面溝形状の測定が1台で同時に行える、②「石英パイプ基準測定方式」の採用により0.02μmレベル（σ値）の高精度測定が非接触かつ10〜30秒の高速で行える、など。