優れた検査精度と作業効率を実現する光学式自動外観検査装置。特徴は、①3D光源を使用して複数画面を同時取得するマルチイメージテクノロジー、②微細欠陥と低いショート欠陥の検出能力、③最小線幅5μmまでの高精細な検査が可能、④専用設計レンズによる可変解像度方式、⑤基板の反りに対して追従するダイナミックフォーカス、⑥ICサブストレート製造向け専用アルゴリズム、⑦スマートセットアップによる直感的な操作、など。