1回のスキャンで複数の画像を検査することによって高い検出精度を実現する光化学式外観検査装置。特徴は、①高性能HDI基板向けに設計、②生産効率向上を実現すると同時に、スキャン1回あたりのコストを最小限に抑えている、③複数の光源を使用して複数画像を同時に取得、④微細な形状にも優れた検出能力を発揮、⑤最大70％の虚報を低減、⑥直感的な操作が可能、⑦真欠陥と疑欠陥を目視で分類できる直感性、⑧ワンサイクル処理（反復なし）により時間短縮に貢献、⑨すべてのセットアップパラメータを自動最適化（繰り返し検査低減）、など。