コントローラ内蔵のZaber社製低床高剛性電動リニアステージ。特徴は、①焼き入れされた鉄材フレームと循環式ボールベアリングガイドを使用しているため、高剛性と耐温度環境に優れている、②ストローク：25／50／100／150／200mm、③最大耐荷重50kg、④最高速度25mm/秒、⑤最大トルク50N、連続トルク25N、⑥脱調、抜けパルス補正用にロータリエンコーダを内蔵し、常にフィードバック補正、⑦分解能は8μm〜50nmまで設定可能、など。