AF機能を搭載し、表裏の位置ずれを高精度で自動計測できる両面顕微鏡位置ずれ計測システム。特徴は、①小型／高精度化し、両面の位置ずれを±0.5μmで測定、②FA自動化へ対応可能なシステム、③両面ともにAFを搭載可能で、再現性が高い計測が可能、④下側にIRカメラも搭載可能で、内部の位置ずれも計測可能、⑤表裏映像の表面映像を赤色、裏面映像を青色で重ね表示、⑥表裏顕微鏡の光軸／倍率／角度を画像補正、など。