特殊な自己潤滑型カーボンベーンを使用しているのでオイルを使用せず、脈動が非常に少ないロータリーベーン式真空ポンプ。

特徴は、
①省エネ設計、
②低騒音でドライ式のため､オイルフリーが要求される工程に最適、
③シールドベアリング､空冷モータの採用によりメンテナンスはフィルタとベーンの交換のみで、交換部品にはアクセスのしやすい構造になっている、
④ポンプとモータは直接カップリングされ、コンパクトな構造を実現、
⑤真空及び圧力リリーフバルブなどのアクセサリーにより、より信頼性の高い運転が可能、
など。