きわめて高精度なレーザスケール。特徴は、①格子ピッチは0.55μmで、格子干渉方式のヘッドから検出される信号波長は138μmと非常に細かく、専用インターポレータBD700により最小分解能2.1pmが得られる、②ガラス素材にゼロ膨張ガラスを採用、③石英ガラスより一桁低い膨張係数にすることで温度変化による影響を制した位置決めが可能になる、④同シリーズと組み合わされるインターポレータBD700によるリアルタイム信号補正処理により、内挿精度±10pmを達成している、⑤使用されるスケールは、干渉露光で作製される透過型のボリュームタイプホログラム、など。