ムービングマグネット方式の、きわめて断面高さの低いリニアモータテーブル。特徴は、①可動テーブルの案内部には、小型直動案内機器の分野で定評のあるリニアウェイ、またはクロスローラウェイを使用し、リニアモータと高分解能リニアエンコーダの組み合わせにより高精度な位置決めを実現する、②高性能ネオジム磁石の採用によって大きな推力が得られるため、きわめて小型でありながら高速、高応答な位置決めが可能、③可動ケーブルのない画期的な駆動方式の採用によって機械的接触部分は直動案内機器のみなので、高い清浄度を発揮、④CEマーク対応、など。