高速スキャニング／ポジショニングを実現したリニアモータステージ。特徴は、①永久磁石とコイルによるボイスコイル駆動は、高いスキャン頻度と高精度のポジショニングが可能、②移動範囲：5／10／20mm、③数十Hzまでの周波数スキャニング、④最大速度250mm/秒、⑤クロスローラ—ベアリングによる優れた精度、⑥インクリメンタルエンコーダによる直接位置測定で、非直線性、機械的動作、弾性変形は、位置測定に影響がない、など。