アイロンコア3相リニアモータを搭載したリニアステージ。特徴は、①3相の磁気ダイレクトドライブはドライブトレイン内で機械部品を使用しないため、駆動力を摩擦プラットフォームに伝達、②高耐荷重クロスローラガイドにより、ボールガイドのボールの点接触ではなく強化ローラが線で接触し、摩擦が低減しスムーズな動作が可能、③最小インクリメンタルモーション20nm、④双方向繰り返し性±0.1μm、⑤コンパクト設計、など。