リニアモータ駆動による高速静音動作を実現したリニアステージ。特徴は、①ストローク長：40／60／110／210mm、②分解能1nmリニアエンコーダ、③磁気カウンタバランスによる垂直方向オプション、④最小8nmインクリメンタル移動、⑤高精度のためのクロスローラベアリング設計、⑥最高精度：1μm、⑦繰り返し精度：＜0.08μm、⑧最高速度：1200mm/秒、⑨最大推力：100N、⑩耐荷重：120N、⑪精密リニアモータステージ『X-LDM-AE／LDM-AE』と精密縦型ステージ『X-LDM-AEZ／LDM-AEZ』をラインアップ、など。