導体プロセスの見える化に貢献するリアルタイムプロセスモニタ。特徴は、①QCMとはQuartz Crystal Microbalance の略で、水晶振動子をセンサとして微小重量変化を測定する方法、②1枚の水晶片上に検出電極と基準電極の2電極を形成することで水晶片のばらつきを抑え、外来要因を高精度にキャンセルすることが可能な仕組みとなっている、③高性能温度センサによる高精度な電極温度計測を実現することによって計測安定性に優れたリアルタイムプロセスモニタを実現、④半導体製造装置に適応することで最先端のプロセス制御が可能、など。