半導体洗浄などにも利用可能なクリーンオゾン水を生成するメタルフリー小型オゾン水生成装置。特徴は、①オール石英製のオゾン発生部と、フッ素樹脂パーツで構成されたオゾン水生成部の組み合わせにより、金属汚染のないクリーンオゾン水を生成、②タッチパネルで簡単操作、③1分以内に最大オゾン水濃度に到達、④幅450×奥行き550×高さ865mmのコンパクトサイズ、⑤オゾン濃度自動制御機能、⑥半導体ウエハ洗浄用薬品からの代替使用で、コスト削減とパーティクル／金属不純物の除去性能向上が可能、など。