原子レベルの厚さのコーティング層で設計／製造され高い精度を実現したUFI社製ミラー。特徴は、①多層膜コーティングは、65eV（19nm）を中心にして6eV（1.8nm）のバンド幅をもち、s偏光の光に対して38％のピーク反射率が得られる、②330アト秒の持続時間をもつ極端紫外（EUV）パルスに対応し、高次高調波発生（HHG）に基づくアト秒パルス生成や整形に理想的、③在庫販売のため、短納期で出荷することが可能、など。