従来はパージメータなどで各種ガス流量の現場計測を行っていたアプリケーションのリモート指示、コントロールを目指して開発されたサーマルマスフローメータ。特徴は、①温度／圧力の補正不要な熱式質量流量計測方式、②高速応答（90％応答0.5秒以内）、③最小0〜2L/min（nor）、最大0〜750³/h（nor）をカバーする流量範囲、④上下流直管長が短い配管レイアウト（整流器内蔵）、⑤シンプルな構造、軽量設計、など。