TF-1000シリーズをベースにコントロールバルブを装備したミニサーマルマスフローコントローラ。特徴は、①各種気体の質量流量を温度／圧力などのプロセス条件の変化に影響なく、高精度計測／制御を行う、②シンプルな構造で使いやすいコストパフォーマンスを達成、③熱式質量流量計測で圧力／温度の補正不要、④全量通過の流量検出方式で詰まりに強い、⑤配線が容易でコンパクトなコンバータユニット『TM-1400』を用意、⑥最大800ℓ/分（nor）までの大流量に対応、など。