気体計測のマスフローメータ／コントローラ。特徴は、①5mℓ〜400ℓ/分（nor）のガス流量を、温度／圧力の変動にほとんど影響されずに流量計測／制御を行う、②流量を計測するマスフローメータと、コントロールバルブを内蔵し流量をコントロールするマスフローコントローラの2タイプを選択でき、高性能／汎用の2つのタイプを用意、③高精度：±1％F.S.（高性能タイプ）、④ハイブリッドIC化による信頼性向上と小型化、など。