気体用のマスフローメータ／コントローラ。特徴は、①最小0〜5mℓ/分（nor）、最大0〜20ℓ/分（nor）の広範囲のガス流量を、温度／圧力の変動にほとんど影響されずに流量測定／制御を行う、②流量を測定するマスフローメータとコントロールバルブを内蔵し、流量をコントロールするマスフローコントローラの2タイプを選択可能、③±1.5％F.S.（汎用タイプ）の高精度、④周辺機器完備、⑤低コストタイプと高機能装備の汎用タイプをラインアップ、など。