気体計測のマスフローメータ／コントローラ。特徴は、①最小0〜5mℓ/分（nor）から最大0〜400ℓ/分（nor）の広範囲のガス流量を、温度／圧力の変動にほとんど影響されずに流量計測／制御できる、②流量を計測するマスフローメータと、コントロールバルブを内蔵し流量をコントロールするマスフローコントローラの2タイプを選択可能、③高精度：±1％F.S.（高性能タイプ）、④ハイブリッドIC化による信頼性向上と小型化を実現、など。