ガス流量を温度／圧力の変動にほとんど影響されずに流量測定／制御するマスフローメータ／コントローラ。特徴は、①流量を測定するマスフローメータとコントロールバルブを内蔵し流量をコントロールするマスフローコントローラの2タイプ、②低コストタイプと汎用タイプをラインアップ、③最小0〜5mℓ/分（nor）、最大0〜20ℓ/分（nor）の広範囲に対応、④±1.5％F.S（汎用タイプ）の高精度、⑤豊富な組み合わせ／周辺機器完備、など。