呼吸ケアやそのほかの医療機器／計測機器用途向けに設計されたマスエアフローセンサ。特徴は、①最新の微細加工技術を駆使したポシファの第3世代サーマルフローダイを搭載、②コンパクトなフットプリント、③高精度／低ノイズ、④高速応答性、⑤パリレンでコーティングされ、高湿度や微量の腐食性ガスが存在するような過酷な環境下でも安定した性能を発揮、⑥双方向フローセンシング（オプション）、⑦アナログ、I²C、リニア出力、など。