ワークの輪郭が鮮明に浮かび上がるポーラスチャック。特徴は、①ワークの吸着固定にバックライト機能を追加、②用途に合わせてサイズ変更可能、③面発光のため、明暗のばらつきがない、④光量は最大10万ルクスまで調光可能、⑤電源は100V、約40Wで稼動可能、⑥照射むらを解消し、検査精度が向上、⑦ワークの着脱が容易で作業工数削減が可能、⑧多層ウエハの内部パターン検査、基板のエッジ／スルーホール検査などに好適、など。