平面型ボイスコイルの両側にリニアガイドを取り付け、片側にθ（シータ）軸を加えたボイスコイルモータZ-θモジュール。特徴は、①θ軸の中心は0.8mmの空洞となっているため、真空の取り付けが簡単、②可動部は軽量で、高速な速度と加速度、セトリングのゼロバックラッシが実現、③実装機の単体、あるいは複数を並べたマルチヘッドに最適、④便利なボイスコイルモジュールも用意、⑤用途に合わせカスタムモジュールにも対応、など。