ゼロコギングやゼロバックラッシュが実現できるボイスコイルモータ。特徴は、①モジュール可動部は軽量で、低インダクタンスコイルのため応答性が良く、高速／高加速度な運動に適している、②コイルはコア（固定子）とコンタクトがないため磨耗がない、③平面型ボイスコイルの両側にリニアガイドを取り付け、片側にθ軸を加えたもので、θ軸の中心は0.8mm空洞となっているため真空の取り付けが簡単、など。