特定部位を高速／広範囲で加工し観察できるプラズマFIB-SEMシステム。特徴は、①イオンビームにXeプラズマを使用、②加工幅1mmの大面積加工を短時間で実現、③Gaイオンに比べて試料へのイオン注入や非晶質化によるダメージを大幅に低減、④高速／高精度ピエゾアパーチャー制御によるスムーズな電流制御、⑤カーテニング効果を抑えるための機能も充実、⑥mmオーダの3次元構造解析／組成解析／結晶方位解析が短時間で可能、など。