高出力プラズマ処理が可能なプラズマリール・ツウ・リール装置。特徴は、①最大処理テープ幅70mm、②処理ガスはO₂／CF₄／N₂、プログラム設定でほかのガスも可能、③対応プロセス：エッチング（炭酸ガスレーザ使用時の穴底ポリイミド残渣）／有機物灰化洗浄（炭酸ガス／UVレーザによる穴内部の炭化物）／高度洗浄（有機／無機）（ダイアタッチ／ワイヤボンディング／バンプ実装の前処理としての金属配線の酸化膜除去、離形油除去)、表面活性化、など。