気体垂直噴流方式を採用し、非接触でチャックし、搬送するフロートチャック。特徴は、①気体垂直噴流方式はクッション室にノズルより噴出する気体流を垂直気体噴流させることで、クッション室内の気体流の摩擦損失を減少させ、負圧発生の効果を増し、懸垂能力を増加させ保持安定元力が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させる、②空気を基板に向かって噴出することで、基板を空中に浮遊した非接触状態で懸垂保持し搬送、など。