ピコ秒レーザプラットフォーム
HyperRapid NXT1シリーズ
パルスエネルギーを一定に保ったまま、外部トリガ信号と同期し発振が可能となる同社のパルスコントロール技術PulseEQを採用したピコ秒レーザプラットフォーム。特徴は、①トリガ制御(ジッタ約25n秒)とパルスエネルギー制御により、スキャナやステージとの高速な同期が可能で、高速微細加工装置への組み込みが容易、②出力/波長は4タイプ、③パルス幅<15p秒、④繰り返し周波数:シングルショット〜最大4MHz、など。
- 会社名
- コヒレント・ジャパン(株)
- 所在地
- 東京都渋谷区代々木2-1-1
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