一体弾性ヒンジによるガイド機構に耐湿型の積層圧電アクチュエータを組み込んだピエゾアクチュエータ。特徴は、①摩擦のない精度のよい真直動作、②変位拡大により小型ながら大きな変位量を発生、③サブナノメートルオーダーの高分解能動作と高速応答性、④各種機器への組み込みに特化した低コストタイプ、⑤変異分解能がきわめて高い、⑥耐湿ピエゾ素子、⑦小型ながら変位量が大きい、⑧精密位置決め装置、スキャニング、微小振動の生成などに適する。