一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したピエゾアクチュエータステージ。特徴は、①高剛性／高速応答／真直度／小型を実現、②高精度変位センサを内蔵可能、③ストロークは20〜120μmを選択できる、④高精度位置分解能を実現、⑤静電容量型変位センサ／温度センサ／空気導入継ぎ手をオプション設定、⑥光学ミラーの精密制御、レーザシステム、スキャニング（走査）装置などのアプリケーションに好適、など。