軽量化の要求に対応したヒートシンク。特徴は、①3〜5mmの薄さながら無酸素銅製のため、冷却性能や耐久性に優れている、②60×80mmから450mm角、φ480mmまで8種類の標準品のほか、500×800mm程度までの特注製作ができる、③各種のデバイス／基板／ウェハ／チャンバなどの冷却に最適、など。