半導体ラインの材料ガスをそのまま測定することができる光散乱方式パーティクルセンサ。特徴は、①粒子検出部にフローセルをもちいた流路部を採用し、リーク量を1×10⁻¹⁰Pa・m³/秒以下（真空フード法）を実現、②万一の事故に備え、筐体は1×10⁻⁶Pa・m³/秒以下（スニファー法）の密閉構造を有している、③流路部はSUS316管と石英製フローセルで構成され、デッドスペースのない直管接続で容易にパージすることが可能、など。