ハイブリッドファイバレーザ
Quasar UV80レーザー
高スループット、高精度微細加工製造に求められるプログラマブルパルス、高パルスエネルギーを備えたハイブリッドファイバレーザ。特徴は、①80W超のUV出力、400μJ超のパルスエネルギーを優れたシングルモードビーム品質で提供、②TimeShift機能はパルス形状をプログラマブルとし、パルス幅、パルス形状、繰り返し周波数が調整可能、③パルス分割とバーストモード運転、④パフォーマンスのモニタリングと診断のためのデータログ、など。
- 会社名
- スペクトラ・フィジックス(株)
- 所在地
- 東京都千代田区九段北4-1-28
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