ナノ秒UVレーザ
Talon Ace UV100
先端エレクトロニクスやクリーンエネルギー分野での高スループット微細加工を可能にするナノ秒UVレーザ。特徴は、①>100W UV、200kHz 10n秒(>500μJ/パルス)、②TimeShiftプログラマブルパルス機能や幅広いパルス繰り返し可変レンジ、優れた柔軟性を提供、③高速加工のための最大5MHzの繰り返し周波数、④高出力ナノ秒UVにおいて極めて低い$/Wと維持コスト、⑤OEMツール向けの堅牢性と信頼性、⑥24/7運転を可能にする信頼性、⑦小型設計、など。
- 会社名
- スペクトラ・フィジックス(株)
- 所在地
- 東京都千代田区九段北4-1-28
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