ピエゾ駆動モータを使った高精度なナノ位置決めステージ。特徴は、①高真空／非磁性対応で、最大真空度5×10⁻¹¹mbar、磁性強度0〜30Tの環境下で使用できるモデルをラインアップ、②最小分解能1nmで、最大可動量150mmの広い可動域を提供、③ステージの種類は直進（リニア）／回転／ゴニオがあり、いずれにも位置センサ内蔵のクローズドループ制御モデルを用意、④独自のピエゾ駆動技術、⑤堅牢な機械設計、⑥クロスローラベアリング採用、など。