化学業界、製薬業界をはじめ様々な産業での使用に適する高効率なドライスクリュー真空ポンプ。特徴は、①1hPaから100hPaにおいて高い排気性能を発揮、②非対称形状、不等ピッチのスクリューとプロセスガス経路の最適な設計により、液体や粉塵のキャリーオーバーに対処できる構造を実現、③シリンダの温度分布を均一にすることで耐腐食性が向上している、④効率の最適化により熱負荷を低減し、耐久性が向上、⑤シンプルで堅牢な構造、多種のケミカルガスを排気できる設計によって､メンテナンス間隔の長期化とボンプダウンタイムの最小化を可能にする、など。