耐薬品性と防爆性を備えたダイヤフラム式真空ポンプ。特徴は、①100％オイルフリーのドライ真空ポンプによりコンタミフリー、②酸性ガス、有機溶媒などのあらゆる腐食性ガスに対応、③TFM PTFE製ポンプヘッドとPTFEコーティングのダイヤフラムにより、爆発／可燃性ガスの移送に対応、④ヨーロッパ防爆規格準拠（ATEX II 2G IIB＋H2 T3X）、⑤高いリークタイト性、⑥ガスバラスト付きを選択可能、⑦軽量設計、⑧電源：100V、50/60Hz、など。