耐薬品性／防爆性を備えたダイヤフラム式真空ポンプ。特徴は、①100％オイルフリーのドライ真空ポンプによりコンタミフリー、②酸性ガス、有機溶媒などのあらゆる腐食性ガスに対応し、吸引／移送可能、③TFM PTFE製ポンプヘッドとPTFEコーティングのダイヤフラムにより、爆発性／可燃性ガスの移送に対応、④ATEX II 2G IIB＋H2 T3X、⑤高いリークタイト性、⑥ガスバラスト付きを選択可能（工場出荷オプション）、⑦軽量設計、など。