耐薬品性／防爆性を備えたダイヤフラム式真空ポンプ。特徴は、①100％オイルフリーのドライ真空ポンプによりコンタミフリー、②酸性ガス、有機溶媒などのあらゆる腐食性のガスに対応し、吸引／移送可能、③TFM PTFE製ポンプヘッドとPTFEコーティングのダイヤフラムにより、爆発性／可燃性ガスの移送に対応可能、④欧州防爆規格（ATEX）に準拠、ATEX II 2G IIB＋H2 T3X、⑤高いリークタイト性、⑥ガスバラスト付きを選択可能、など。