コヒーレント回折イメージング（CDI）、EUVリソグラフィなど、拡大する高次高調波発生（HHG）アプリケーションに向けた極端紫外（EUV）用ダイクロイックフィルタ。特徴は、①5〜40nmの広い帯域幅を有し、EUVから近赤外（NIR）の波長にわたって高い分離効率が得られる、②合成石英製のため、ブリュースター角のビームセパレータなど、ほかの種類のEUVフィルタよりも高いレーザパワーに対応、③在庫販売しており、短納期で出荷可能、など。