耐薬品性と防爆性を備えたダイアフラム式真空ポンプ。特徴は、①100％オイルフリーのドライ真空ポンプによりコンタミフリーを実現、②酸性ガス、有機溶媒などのあらゆる腐食性のガスに対応し、吸引／移送、③TFM PTFE製ポンプヘッドとPTFEコーティングのダイアフラムにより、爆発性／可燃性ガスの移送に対応できる、④ヨーロッパ防爆規格（ATEX）に準拠、ATEX Ⅱ 2G ⅡB＋H2 T3X、⑤高いリークタイト性、⑥ガスバラスト付きを選択できる（工場出荷オプション）、⑦軽量設計、電源：100V、50／60Hz、など。