耐薬品性と防爆性を備えたダイアフラム式真空ポンプ。特徴は、①100％オイルフリーのドライ真空ポンプによりコンタミフリーを実現、②酸性ガス、有機溶媒などのあらゆる腐食性のガスに対応（吸引／移送）、③爆発性／可燃性ガスの移送に対応、④ヨーロッパ防爆規格（ATEX）に準拠、⑤高いリークタイト性、⑥ガスバラスト付きを選択可能（工場出荷オプション）、⑦軽量設計、など。