電子顕微鏡向けタングステン薄膜コーティング装置。特徴は、①高分解能SEMにおいて高倍率の観察に活躍（20万倍以上）、②試料反転機構を装備し、グリッドメッシュの両面に連続でコーティングが可能、③基金属／Mo／Cr／Ni／Ta／Cu／Tiなどの金属板（オプション）をコーティングすることが可能、④空冷式マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にし、ターゲットの温度上昇を防ぐ、⑤雰囲気ガスはアルゴンガスを使用、など。