セラミック製比例式流量制御バルブ
エクリプス

密着した2枚のセラミックプレートをステッパー制御によりスライドさせることで、流体通路となるオリフィスを精緻に可変するClippard社製比例式流量制御バルブ。特徴は、①接液部には高い耐久性と耐蝕性を備えるセラミックを使用、②従来のホッパー型比例制御バルブに比べて始動時の「ジャンプ」がなく、ソフトスタートが可能、③デッドボリュームがほとんどなく、フルオープン状態でのクリーニングが容易、④イン/アウト、双方向での使用が可能、⑤素早い応答性(<2ms)、⑥リークフリー(<0.05sccm)、など。
- 会社名
- サンワ・エンタープライズ(株)
- 所在地
- さいたま市浦和区東高砂町2-5

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