セラミック基板の高精度／高速自動外観検査を実現するセラミック基板自動外観検査装置。特徴は、①マルチアングルLED照明＋複数枚画像撮像で、多様な不良モードの欠陥を確実にキャッチする高精度2D欠陥検査を実現、②検査面すべての高さデータを取得し、僅かな膨れや凹みを検出する高精度3D欠陥検査を搭載可能、③クリーンファンによるダウンフローで、装置内の環境を清浄に保つ、④MAPデータにより検査結果を出力可能、など。