スタンダードセミオートプローバ
HSP-200/300
![](https://busicompost.com/wp-content/uploads/2022/08/18-6-JPC-08.jpg)
8/12インチウエハに対応したスタンダードセミオートプローバ。特徴は、①位置決め精度、繰り返し精度に優れた高精度x-y-z-θ 4軸を有しており、確実なプローブコンタクトを保証、②20〜300℃のホットチャックを搭載可能、③微小信号I-V測定(fAレベル)、各種C-V測定(Quasi-Static C-V、HF-CV、RF-CV)、RF測定(〜67GHz)、高速I-V測定が可能、④オプションで大電流/高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能、など。
- 会社名
- ハイソル(株)
- 所在地
- 東京都台東区上野1-17-6
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