8/12インチウエハに対応したスタンダードセミオートプローバ。特徴は、①位置決め精度、繰り返し精度に優れた高精度x-y-z-θ 4軸を有しており、確実なプローブコンタクトを保証、②20〜300℃のホットチャックを搭載可能、③微小信号I-V測定（fAレベル）、各種C-V測定（Quasi-Static C-V、HF-CV、RF-CV）、RF測定（〜67GHz）、高速I-V測定が可能、④オプションで大電流／高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能、など。