複数タイプの非接触プローブによる広範囲レンジ対応のシート抵抗測定器。特徴は、①エッジ8mmからの多点測定可能、②非接触の渦電流方式のため、ダメージを与えず測定が可能、③測定パターンプログラマブルかつ2-D／3-Dマッピングソフトウエア、④搭載するプローブ数およびプローブタイプは要望により変更可能、⑤オプション：ウエハ厚さ測定プローブ追加搭載、⑥対象サイズ：2〜8インチ（オプション：12インチ）、⑦測定レンジ：10m〜3kΩ/sq、など。