シリコーン樹脂から発生するシロキサンを発生しない機器が必須となっている半導体製造装置への組み込みに最適な、ビーム型のシリコンフリーロードセル。特徴は、①シリコンウエハ周辺での用途に考慮し、塩素ガスの発生しないテフロンシースケーブルを使用している、②使用例は、ウエハ搬送ロボットの把持力管理、ウエハの研磨時の押し圧管理、チップマウンタの荷重制御、ワイヤボンディング時の押し圧管理、気体／液体／ゼリーなどの粘着力測定、など。