X線を用いてシリコンウエハ内の結晶欠陥であるボイドを自動で検査する装置。特徴は、①X線による検査方式であるため、低い抵抗値のウエハなどは検査が難しい、研磨した最終工程のポリッシュウエハでないと精度の良い検査ができないといった条件に縛られず、研磨前の状態（スライス直後）であっても検査可能、②ウエハの抵抗値に関係なく検査が可能、③検査対象シリコンウエハのサイズは12インチ、8インチ（オプションで6インチも可能）、④X線作業主任者などの特別な資格は必要なし。X線は完全に遮断されているため、安全に使用できる、など。